Hệ thốg xử lý khí thải cho sản xuất công nghệ cao

 Hệ thống xử lý khí thải cho sản xuất công nghệ cao

Từ năm 1999, Các chuyên gia môi trường của tandaiphong đã phát triển và sản xuất các phương tiện sử dụng theo điểm dành riêng cho khách hàng để xử lý khí thải trong các ngành công nghiệp công nghệ cao toàn cầu. Về nguyên tắc, máy lọc xử lý các loại khí ngưng tụ, dễ cháy, ăn mòn, phản ứng, độc hại và/hoặc tự cháy (ví dụ: silan, chất hữu cơ silan, terpineol, hydro, amoniac hoặc hydro halogenua) và bụi mịn.

Danh mục quy trình và sản phẩm để xử lý khí thải tại điểm sử dụng

Khách hàng của chúng tôi trong ngành bán dẫn/MEMS, quang điện, màn hình phẳng và đèn LED được hưởng lợi từ chuyên môn kỹ thuật sâu rộng của nhóm chúng tôi ở Dresden và trên toàn thế giới. Kiến thức chi tiết của chúng tôi về quy trình sản xuất của khách hàng có nghĩa là chúng tôi biết rằng khí thải là điều cần thiết cho sự an toàn của quy trình sản xuất. Chúng tôi sử dụng chuyên môn này để cung cấp các giải pháp hiệu quả và phù hợp tùy chỉnh cho khách hàng của mình. Chúng tôi phát triển và sản xuất máy lọc tại điểm sử dụng cho lưu lượng khí thải lên đến 5.000 m³/h cho nhiều ngành công nghiệp.

Nếu được yêu cầu, chúng tôi cũng cung cấp các khái niệm xử lý khí thải tích hợp bao gồm máy bơm chân không mà bạn lựa chọn trong hệ thống của chúng tôi hoặc các thành phần khác như giải pháp giường khô. Chúng tôi cũng cung cấp các kết hợp thông minh của các công nghệ khác nhau của chúng tôi thành một hệ thống hoàn chỉnh để phù hợp hoàn hảo với yêu cầu quy trình của bạn. Danh mục sản phẩm của chúng tôi để xử lý khí thải tại điểm sử dụng bao gồm bốn nhóm công nghệ.

Sự kết hợp của hai quy trình vận hành ghi và lọc trong không gian nhỏ nhất có thể dựa trên công nghệ ESCAPE của chúng tôi đã liên tục được phát triển hơn nữa kể từ khi thành lập DAS. Khí thải được đưa vào thiết bị đốt hình vòng. Tùy thuộc vào thành phần hóa học của khí thải, các phản ứng khác nhau diễn ra (oxy hóa, khử, nhiệt phân). Trong quá trình cọ rửa tiếp theo, các hợp chất rắn, khí và hòa tan được tạo ra bởi quá trình đốt cháy được hấp thụ và làm mát bằng chất lỏng cọ rửa phù hợp.

Tổng quan Công nghệ Burn/Wet

Hoạt động chính

Đốt/Làm khô — Nhiệt phân

Khí thải của quá trình được đốt cháy trong vùng phân hủy. Nếu cần thiết, một loại khí nhiên liệu có thể được áp dụng. Tùy thuộc vào thành phần hóa học của khí thải, các phản ứng khác nhau diễn ra, chẳng hạn như oxy hóa, khử hoặc nhiệt phân.

Dòng sản phẩm đầu đốt được thiết kế đặc biệt cho các quy trình trong ngành công nghiệp đèn LED. Nó có khả năng xử lý các dòng khí lớn hydro và amoniac điển hình.

Bàn chải ướt)

Lọc ướt là một quy trình hiệu quả để xử lý các chất ô nhiễm hòa tan trong nước trong khí thải của quy trình. Máy lọc ướt của chúng tôi được sử dụng chủ yếu trong ngành công nghiệp bán dẫn, như một hệ thống xử lý ướt Điểm sử dụng (POU). Được lắp đặt sát phía sau máy bơm chân không, chúng bảo vệ tối ưu hệ thống khí thải của nhà máy khỏi bị nhiễm bẩn và ăn mòn. Bảo trì nhanh chóng và dễ dàng.

Hiệu trưởng hoạt động 

Hoạt động chính

Bộ sưu tập tĩnh điện của các hạt vi mô và nano

Bộ lọc tĩnh điện sử dụng điện trường để làm sạch quá trình xử lý khí thải khỏi các hạt. Các hệ thống của chúng tôi lọc các khí thải của quy trình có chứa hạt vi mô và hạt nano hoặc có chứa sol khí khi chúng xảy ra, ví dụ như trong ngành TFT.

Để xử lý các hợp chất hữu cơ có thể ngưng tụ, chúng tôi cung cấp thiết bị tách nước ngưng tĩnh điện.

Xử lý khí thải bằng máy hút bụi quay

Các hệ thống của dòng RDC sử dụng lực ly tâm để tách các hạt bụi mịn. Chúng dựa trên nguyên tắc rôto-stato hoàn toàn cơ học.

Cánh quạt hoạt động như một chiếc quạt gió và di chuyển khí thải về phía trước; điều này ngăn ngừa bất kỳ tổn thất áp suất nào và thậm chí hỗ trợ quá trình chiết thường diễn ra sau đó.